Solicitante: MITSUBISHI MATERIALS CORP
N. de publicación: US2013232783
Disclosed is a ceramic substrate including silicon in which the concentration of a silicon oxide and a silicon composite oxide in the surface thereof is less than or equal to 2.7 Atom %.
Si desea obtener más información sobre este contenido contacte con nuestro Centro de DocumentaciónSolicitante: MITSUBISHI MATERIALS CORP
N. de publicación: US2013232783
Disclosed is a ceramic substrate including silicon in which the concentration of a silicon oxide and a silicon composite oxide in the surface thereof is less than or equal to 2.7 Atom %.
Si desea obtener más información sobre este contenido contacte con nuestro Centro de Documentación